标准简介
本标准规定了利用晶片中心作为*坐标或直角坐标的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 16596-2019代替
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1996-01-01
实施日期：1997-04-01
作废日期：2020-02-01
出版日期：1997-04-01
页数：平装16开， 页数：6， 字数：6千字
前言
金属物理性能试验方法相关标准
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