标准简介
本标准规定了使用直角坐标和*坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 16596-1996
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
出版日期：2019-02-01
页数：8页
前言
半金属与半导体材料综合相关标准
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