标准简介
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为(0～10 000)个/mL。英文名称：Test method for particles in electronic grade water by instrument
标准状态：作废
替代情况：GB 11446.9-1989;被GB/T 11446.9-2013代替
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：31.030
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-09-01
实施日期：1998-09-01
作废日期：2014-08-15
页数：2页
前言
电子技术专用材料相关标准
