标准简介
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。英文名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-07-01
出版日期：2020-03-01
页数：20页
前言
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