标准简介
本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。英文名称：Gases for electronic industry—Arsine
标准状态：现行
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
出版日期：2011-05-01
页数：12页
前言
工业气体与化学气体相关标准
.png)
