标准简介
本文件规定了集成电路（IC)制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。 本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。英文名称：Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
ICS分类：电子学>>31.220电子电信设备用机电零部件
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
出版日期：2021-10-01
页数：60页
前言
电子工业生产设备综合相关标准
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