标准简介
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。英文名称：Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth
标准状态：现行
中标分类：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
出版日期：2014-03-01
页数：16页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准使用翻译法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》。本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。本标准负责起草单位:中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。本标准主要起草人:陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。
