标准简介
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2μm。要求衬底电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。英文名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 8758-2006代替
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门：国家标准局
发布日期：1988-02-25
实施日期：1989-02-01
作废日期：2006-11-01
页数：5页
前言
金属物理性能试验方法相关标准
