标准简介
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。英文名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 8758-1988
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
出版日期：2006-11-01
页数：平装16开/页数：7/字数：8千字
前言
金属物理性能试验方法相关标准
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