标准简介
本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。 本标准适用于制备直径50.8 mm~152.4 mm氮化物半导体材料的HVPE设备。英文名称：Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
ICS分类：电子学>>31.220电子电信设备用机电零部件
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
出版日期：2018-09-01
页数：0
前言
电子工业生产设备综合相关标准
.png)
