标准简介
本标准规定了磁悬浮分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵。英文名称：Vacuum technology—Magnetic levitated turbomolecular pump
标准状态：现行
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
出版日期：2016-06-01
页数：34 页
前言
真空技术与设备相关标准
.png)
