YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

百检网 2022-10-29

标准简介

本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围 (质量分数)为 0.000 010%~0.10%。
标准状态:现行
替代情况:替代YS/T 987-2014
发布部门:工业和信息化部
发布日期:2021-12-02
实施日期:2022-04-01
页数:12页

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