YS/T 28-2015 硅片包装

百检网 2022-10-30

标准简介

本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
标准状态：现行
替代情况：替代YS/T 28-1992;
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
页数：3页

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