GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 现行

标准号：GB/T 24577-2009
中文标准名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
英文标准名称：Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国电子科技集团公司第四十六研究所
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF1982-1103。
采标中文名称:热解吸附气相色谱法评估硅片表面有机污染物的方法。
相近标准：20070861-T-469 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物; WS/T 136-1999 作业场所空气中异丙醚的热解吸气相色谱测定方法; WS/T 135-1999 作业场所空气中异丁醛的热解吸气相色谱测定方法; WS/T 167-1999 作业场所空气中双乙烯酮的热解吸气相色谱测定方法; DB22/T 419-2005 化妆品中苯气相色谱法测定; WS/T 140-1999 作业场所空气中甲基异丁基甲酮的热解吸气相色谱测定方法; GB/T 4946-1985 气相色谱法术语; 20061415-T-606 气相色谱法 术语; GB/T 4946-2008 气相色谱法 术语; GB/T 30773-2014 气相色谱法测定 酚醛树脂中游离苯酚含量