20065633-T-469 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 已发布

标准号：20065633-T-469
中文标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
英文标准名称：Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：宁波立立电子股份有限公司
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司
起草人：唐有青
相近标准：GB/T 14146-1993  硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法;GB/T 14146-2009  硅外延层载流子
标准制修订：修订