RBS测试 NRA测试 样品表面分析 半导体检测 薄膜厚度

RBS：卢瑟福背散射谱法，是在无损、无需标准样品的条件下，即可准确获得样品深度方向元素组成及密度的分析手法。Toray Research Center近日引进了新的RBS设备，以实现更高度的元素分析。从表面分析到块体，再到微小部分，我们的目标是根据不同需求进行成分分析，以此解决客户的问题。

离子散射分析的原理·特点

在RBS分析中，高速离子束被照射到样品上，通过获取弹性散射的入射离子能量谱，对样品组成元素进行定性和定量。无损伤、无需标准样品，即可进行成分定量。

除了精确的元素组成、深度分布（从表面到块体分析、无损）之外，还能够获得与密度、结晶性有关的信息，特别是在组成成分解析领域，它被认为是当前所有分析方法中相当准确的。

在传统的光束线（光束直径1mmφ）基础上，通过引进新的Micro beam line，可实现*小1μmφ的光束聚焦。

微小部位也能对应高精度的组成和密度分析

过去，微小区域的测定需要将试样薄片化来进行TEM-EDX，现在通过 Micro-RBS，在“无损伤”的条件下，即可对微小部位进行深度方向上精确的成分和密度分析。

本手法擅长领域

半导体、电子器件等各类材料的*表面微观领域分析，如元素成分检测、薄膜厚度测试等。

◆背景介绍：Toray Research Center（简称TRC）为一家在日创办的分析检测专门机构，拥有40年以上专业经验，于2018年在中国成立了分析公司“东丽分析技术开发（上海）有限公司（Toray Research Center (Shanghai) Co., Ltd.（简称：TRCS）”。我们致力于为中国企业提供*新的分析技术及各类咨询服务。

◆东丽分析（TRCS）其他主营业务：气体成分分析 液体分析 锂离子电池失效分析 异物成分分析 表面分析

◆中文官网：toray-research.cn

◆公众号：搜索【东丽分析】