扫描近场光学显微镜

百检网 2021-11-11
x-y方向扫描范围100μm×100μm,精度1nm。z方向针尖样品间距采用切变力反馈控制,一般在10nm左右,针尖伸缩范围20μm,精度1nm。针尖x-y方向和z方向粗逼近采用惯性步进马达,移动范围5mm×3mm×10mm,单步移动距离在1μm以下。样品台可以在30mm×30mm大范围内移动。探针孔径

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