其主要技术参数包括：常规追踪误差时间<0.13ms；重复定位精度<2 rad；通光孔径14 mm；小步长响应时间<0.4 ms；定位速度~6 m/s；8小时工作漂移<0.1 mrad；扫描角度 ±0.35 rad；非线性度0.9 mrad/44°；增益漂<25 ppm/K；零点漂移 <5 mrad；扫描范围110×110 mm2；聚焦光斑直径35 m(M2=1）；括束因子2.8；焦距160 mm。
3D振镜动态聚焦系统可以将激光束入射到两扫描镜上，通过计算机控制反射镜的反射角度，从而达到激光束的偏转，使激光聚焦点按要求运动。
1、检测行业全覆盖，满足不同的检测；
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