标准简介
本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别，选择电源接插件、导线和电缆的要求。本标准适用于半导体设备的电源接口。英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 15872-2013代替
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：电子学>>电子电信设备用机电零部件>>31.220.10插头和插座装置、连接器
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
作废日期：2014-05-15
页数：平装16开， 页数：4， 字数：4千字
前言
加工专用设备相关标准
