标准简介
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
出版日期：2004-08-27
页数：平装16开， 页数：8， 字数：10千字
前言
电子技术专用材料相关标准
e1 (已作废).png)
