标准简介
本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题，也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。英文名称：CD Metrology procedures
标准状态：现行
替代情况：GB/T 9043-1988
中标分类：电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家质量技术监督局
发布日期：1999-09-01
实施日期：2000-06-01
出版日期：2004-08-22
页数：平装16开， 页数：10， 字数：15千字
前言
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