标准简介
本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。英文名称：Gases for electronic industry. Boron trifluoride
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 14603-2009代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
作废日期：2010-05-01
页数：6页
前言
工业气体与化学气体相关标准
