标准简介
本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。英文名称：Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
标准状态：现行
中标分类：仪器、仪表>>工业自动化仪表与控制装置>>N10工业自动化与控制装置综合
ICS分类：综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>01.040.39精密机械、珠宝 (词汇)
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
出版日期：2020-04-01
页数：20页
前言
工业自动化与控制装置综合相关标准
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