GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

百检网 2022-10-22

标准简介

本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。
英文名称:Terminology for nano positioning and scanning stage
标准状态:现行
中标分类:仪器、仪表>>工业自动化仪表与控制装置>>N10工业自动化与控制装置综合
ICS分类:综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>01.040.39精密机械、珠宝 (词汇)
发布部门:国家市场监督管理总局.
发布日期:2020-04-28
实施日期:2020-11-01
出版日期:2020-04-01
页数:16页

前言

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