标准简介
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。英文名称：High purity ammonium fluoride solution for industrial use
标准状态：现行
中标分类：化工>>无机化工原料>>G12无机盐
ICS分类：化工技术>>无机化学>>71.060.50盐
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2014-07-08
实施日期：2014-12-01
出版日期：2014-12-01
页数：16页
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由中国石油和化学工业联合会提出。本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1)归口。本标准起草单位:浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心。本标准主要起草人:田志扬、赵晓亚、万群平、林益兴、张红英、周鹏鹏、郭凤鑫、王芳。
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