标准简介
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。英文名称：Test methods for spike of epitaxial layers
标准状态：现行
替代情况：替代YS/T 24-1992
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：冶金>>77.040金属材料试验
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
出版日期：2016-09-01
页数：8页
前言
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