半导体材料检测

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半导体材料检测

检测项目

化学成分、杂质含量、电阻率测定、载流子迁移率、频率响应、电动势率、热导率等。

适用范围

半导体材料、元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体、非晶态与液态半导体、单晶半导体、宽带隙半导体、低维半导体等。

相关标准

检测标准:多晶硅基体金属杂质分析电感耦合等离子体质谱法 SEMI PV49-0613

检测对象:半导体材料

检测项目:基体金属杂质含量(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌)

检测标准:工业硅化学分析方法 第4部分:杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

检测对象:半导体材料

检测项目:工业硅中铁、铝、钙含量

检测标准:碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

检测对象:半导体材料

检测项目:碳化硅单晶抛光片微管密度

检测标准:碳化硅单晶晶型的测试方法

检测对象:半导体材料

检测项目:碳化硅单晶晶型

检测标准:光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法

检测对象:半导体材料

检测项目:表面金属杂质含量(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌)

检测标准:酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

检测对象:半导体材料

检测项目:表面金属杂质含量(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌)

检测标准:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

检测对象:半导体材料

检测项目:电阻率(电阻系数)

检测标准:硅单晶电阻率测定方法

检测对象:半导体材料

检测项目:电阻率(电阻系数)

检测标准:硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

检测对象:半导体材料

检测项目:电阻率(电阻系数)

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