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金属覆盖层覆盖层厚度测量

射线光谱方法

1范围

警告﹔本标准不包括人员防X射线辐射的问题,关于此重要方面的信息,可参考现行的国际和国家标准及地方法规。

1.1本标准规定了应用X射线光谱方法测量金属覆盖层厚度的方法。

1.2本标准所用的测量方法基本属于测定单位面积质量的一种方法。如果已知覆盖层材料的密度﹐则测量结果也可用覆盖层的线性厚度表示。

1.3 本测量方法可同时测量三层覆盖层体系,或同时测量三层组分的厚度和成分。

1.4︰给定覆盖层材料的实际测量范围主要取决于被分析的特征X射线荧光的能量以及所允许的测量不确定度,而且因所用仪器设备和操作规程而不同。