单晶硅检测标准
GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定
GB/T 12962-2015 硅单晶
GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试
GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片
GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测
GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试
GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试
GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定
GB/T 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范
GB/T 25076-2010 太阳电池用硅单晶
GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定
GB/T 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试
YB 1602-1983 硅单晶
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