洁净室检测

2术语
2.0.1 洁净室及相关受控环境cleanrooms and associated con-trolled environment
洁净室及其附属的、辅助的、相联系的开放或封闭的内部或周边空间，该空间的悬浮微粒浓度等参数也受到符合相关标准的控制。
2.0.2单向流洁净室unidircctional airflow cleanroom
由方向单一、流线平行并且速度均匀稳定的单向流流过房间工作区整个截面的洁净室。
2.0.3非单向流洁净室non-unidirectional airflow cleanroom
的紊乱气流流过房间工作区整个截面的洁净室。亦称乱流洁净室。
2.0.4 混合流洁净室rmnixed airflow cleanroom
同时分别存在单向流和非单向流两种气流流型的洁净室。2.0.5微粒particle
悬浮在空气中的、固态的或液态的、活性的或非活性的物质，其粒径(对本标准而言）在10nm~～100um的范围。
2.0.6气溶胶aerosol
在空气中悬浮的微小固体或液体微粒的分散系。2.0.7生物气溶胶bio-aerosol
散布于气态环境中的生物介质。2.0.8浮游菌airborne bacteria
悬浮在空气中的带菌微粒。
2.0.9沉降菌scttlemental bacteria
降落在表面上的带菌微粒。