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1、电子显微镜中的电子衍射
电子束透过试样后，会产生透射束和不同角度的衍射束，它们分别在物镜的后焦面上形成一个中心斑点(透射束)和多个衍射斑点。然后，这些斑点作为新的光源在物镜的像平面上成像。通过调整中间镜电流，使中间镜的物平面与物镜的后焦面重合，则在中间镜的像平面上可形成放大的衍射斑点像，进一步经投影镜放大后，便可在电镜的荧光屏上观察到衍射斑点像。因此在电子显微镜中可以通过调节中间镜的电流方便地得到晶体对电子束的衍射像。
2、相机常数的测定
对一台电子显微镜来讲，若加速电压一定，电子波长λ一定，因试样到荧光屏的距离L是基本不变的，故式(Rd=Lλ)中的Lλ是一个常数，称之为电子显微镜的相机常数。在电子衍射分析时，需要测定相机常数。测定方法简单，是在同样的加速电压条件下，拍摄已知晶体点阵的标样的电子衍射图像，由此标样衍射图像上测量出的各衍射点的R值，并和对应的标样晶体的各d值相乘，按式(Rd=Lλ)即可计算出Lλ值。常用的标样有金或铝制成的多晶薄膜。
3、选区电子衍射
在电子显微镜观察试样时，往往在一副图像中有较多的晶粒，而分析时通常只需对观察到的某一种或者某一颗粒作晶体结构分析，因此，在电子显微镜中设有选区电子衍射，即可对显微组织中局部区域进行电子衍射分析。通过在物镜像平面内插入一个孔径可调节的光阑来限制衍射区域，称选区电子衍射。
4、高分辨率电子衍射
在选区电子衍射时，由于中间镜和投射镜把物镜后焦面上形成的电子衍射花样放大，相机常数和斑点尺寸被放大Mi·Mp倍(Mi为中间镜的放大倍数，Mp为投影镜的放大倍数)，所以电子衍射的分辨力不高。高分辨率衍射装置把试样放在投影镜附近，试样以上的透镜均参与照明系统提供细聚焦的平行电子束，试样以下的透镜关闭，此时相机常数与电流无关，犹如一台普通的电子衍射仪。如提高高压稳定度和精确测定λ值，可得到相对误差达10-4的晶面间距值，与X射线衍射精度相当。
