GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢

百检网 2022-10-20

标准简介

本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业,在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。
英文名称:Gases for electronic industry. Hydrogen chloride
标准状态:作废
替代情况:被GB/T 14602-2014代替
中标分类:化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类:化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1993-08-26
实施日期:1994-07-01
作废日期:2015-07-01
页数:7页

前言

工业气体与化学气体相关标准

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