标准简介
本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物,也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。氟的分子式:F2。氟的相对分子质量:37.9968064(按2007年国际相对原子质量计算)。英文名称:Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
标准状态:现行
中标分类:化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类:化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:国家质量监督检验检疫.
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-05-01
出版日期:2011-05-01
页数:12页
前言
本标准的附录A 为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203)归口。本标准起草单位:中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云。