标准简介
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
ICS分类：电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
出版日期：2017-03-01
页数：24页
前言
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