GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

百检网 2022-10-24

标准简介

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。
标准状态：现行
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
页数：12页

前言

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