范围
本标准规定了多晶硅的要求,试验方法,检验规则以及标志,包装、运输、储存,质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
规范性引用文件
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GB/T 14264半导体材料术语
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