标准简介
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二*管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。英文名称：Quartz glass wafer for lithography
标准状态：现行
中标分类：建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃
ICS分类：玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
出版日期：2017-09-01
页数：16页
前言
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