标准简介
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。 本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 分子式:HCl。 相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。英文名称：Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 14602-1993;GB/T 24469-2009
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
出版日期：2015-07-01
页数：12页
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准代替 GB/T14602—1993《电子工业用气体 氯化氢》、GB/T24469—2009《电子工业用气体 5N氯化氢》。与 GB/T14602—1993、GB/T24469—2009相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:———修改了范围(见第1章,1993年版的第1章、GB/T24469—2009的第1章);———修改了规范性引用文件(见第2章,1993年版的第2章、GB/T24469—2009的第2章);———修改了技术要求(见第3章,1993年版的第3章、GB/T24469—2009的第3章);———修改了抽样、判定(见4.1,1993年版的第5章、GB/T24469—2009的第5章);———修改了氧+ 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见 4.3,1993 年版的 4.2、4.3、GB/T24469—2009的4.3、4.5);———删除了氢含量的测定方法(见1993年版的4.5);———修改了水分含量的测定方法(见4.4,1993年版的4.4、GB/T24469—2009的4.4);———修改了金属元素含量的测定方法(见4.5,GB/T24469—2009的4.6);———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,1993年版的第6章、第7章、GB/T24469—2009的第6章、第7章、第8章)。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位:北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司。本标准主要起草人:张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:———GB/T14602—1993、GB/T24469—2009。
