半导体集成电路(失效分析)检测

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半导体集成电路(失效分析)检测

1范围

1.1主题内容

本标准规定了半导体集成电路失效分析前的准备、分析程序、分析方法和分析结果的处理。

1.2适用范臣

本标准适用于半导体集成电路(以下简称器件)。1.3应用指南

本标准规定了在实验室中可采用的3种不同等级的分析程序和方法。失效分析人员应根据器件的型号,封装形式、可靠性等级、委托单位的要求等诸因素来选择相应的分析程序和方法。

2 引用文件

GB 548A-96

微电子器件试验方法和程序

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检测标准:半导体集成电路失效分析程序和方法 GJB 3233-1998 5.2.4

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

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检测标准:半导体集成电路失效分析程序和方法 GJB 3233-1998 5.2.10

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检测标准:微电子器件试验方法和程序 GJB 548A-1996 方法2014

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

检测项目:内部检查和清洗

检测标准:微电子器件试验方法和程序 GJB 548B-2005 方法2014

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

检测项目:内部检查和清洗

检测标准:半导体集成电路失效分析程序和方法 GJB 3233-1998 5.3.10

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

检测项目:壳内气氛分析

检测标准:微电子器件试验方法和程序 GJB 548A-1996 方法1018

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

检测项目:壳内气氛分析

检测标准:微电子器件试验方法和程序 GJB 548B-2005 方法1018.1

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

检测项目:壳内气氛分析

检测标准:半导体集成电路失效分析程序和方法 GJB 3233-1998 5.2.5

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

检测项目:外壳清洗

检测标准:微电子器件试验方法和程序 GJB 548A-1996 方法2009A

检测对象:半导体集成电路(失效分析)

检测项目:外部检查

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